AWM42300V 气体流量传感器描述

• 操作微桥质量气流传感器根据传热理论操作。质量气流穿过传感元件的表面。输出电压随空气质量或通过包装进出口的其他气体流量而成比例变化。特殊设计的外壳***地引导和控制通过微结构传感元件的气流。微桥质量气流传感器采用***微结构技术，具有***的硅芯片。它由一个薄膜，热隔离桥梁结构，包含加热器和温度传感元件。桥结构对芯片上的空气或其他气体的流动提供了灵敏和快速的响应。位于中央加热元件两侧的双传感元件指示流向和流速。激光修整的厚膜和薄膜电阻器提供了从一个设备到另一个设备的一致互换性。，微桥质量气流传感器使用沉积在氮化硅薄膜内的温度敏感电阻器。它们以两座桥的形式悬挂在硅的蚀刻腔上。芯片位于***尺寸的气流通道中，以提供可重复的气流响应。通过刻蚀流量传感器桥下的空腔空间，实现了加热器和传感电阻的高效热隔离。微桥质量空气流量传感器的小型化和热隔离使其对流量的响应速度和灵敏度极高。双惠斯通桥控制气流测量——一个提供闭环加热器控制，另一个包含双传感元件。加热器电路通过提供与质量流量成比例的输出，将环境温度变化引起的位移减至***小。该电路将加热器温度保持在高于环境空气温度的恒定温差（160°C），该温差由芯片上的热沉电阻器感测。设备的比率电压输出与惠斯通电桥电路上的差分电压相对应。，注意可能导致某些应用的灰尘污染的影响可以***小化。根据设计，气流中可能存在的粉尘颗粒将平行于芯片表面流过芯片。此外，微结构芯片产生热泳效应，使微米大小的灰尘颗粒远离桥接结构。，一个简单的过滤器将防止灰尘粘附在芯片边缘和通道表面。在大多数应用中，可通过在气流装置上游侧串联使用的5微米一次性过滤器实现充分过滤，警告产品损坏AWM系列微桥质量空气流量传感器不是设计用于感测液体流量的，并且会被流经传感器的液体流量损坏。不遵守这些说明可能会导致产品损坏。