关键参数                        典型值 SI1003            SI1005            单元
全面加速                                  ±3                    ±5                   G
白噪声                                     0.7                    1.2                微克/√Hz
噪声（积分至0.1Hz至100Hz）    8                      13                  微克
动态范围（0.1Hz至100Hz）    108.5                 108.5               D b
比例因子灵敏度                        900                   540               mV/g

带宽（±3dB）                          550                   700                 Hz
工作温度                              -40至85               -40至85            °C
消耗功率                                   90                      90                mW

尺寸                                         9 x9                 9 x9              mm2